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単元素固体のイオン誘起スパッタ収率のエネルギー依存性

(参考文献)
入射イオンの原子番号, Z1 = (1 <= Z1 <= 83)
　標的原子の原子番号, Z2 = (4 <= Z2 <= 92)
Cursor Energy　

by 阿部雄大 2020, 脇村潤也 2005, 井上雅彦 1997, 摂南大学

参考文献1

N.Matsunami, Y.Yamamura, Y.itikawa, N.Itoh, Y.Kazumata, S.Miyagawa, K.Morita, R.Shimizu & H.Tawara
Atomic Data and Nuclear Data Tables 31(1984)1-80.
"Energy Dependence of the Ion-induced Sputtering Yields of Monatomic Solids"

参考文献2

Y.Yamamura and H.Tawara
Atomic Data and Nuclear Data Tables 62(1996)149-253.
"Energy Dependence of the Ion-induced Sputtering Yields from Monatomic Solids at normal incidence"