差動排気型イオン銃

by(９７年度、滝口洋一、 岡晃次)

小さな穴の空いたしきり板(アパーチャ)によりイオン銃を三つの部屋に分ける。 中央の部屋をターボ分子ポンプで排気する。
イオンを発生するためには イオン化室内のガス圧力を10^-4Torr 程度に保つ必要があり、 試料室は表面汚染を防ぐために 10^-9Torr 以下の超高真空に 保つ必要がある。図の様にアパーチャを設けることで各部屋の間に 圧力差をつけることができ(差動排気)、これにより試料分析室を超高真空に保ったまま イオンビームを照射することが可能となる。