超高真空装置

１９９７年に日本電子(株) より寄贈していただいたものです。本装置はかつて同社にて走査オージェ電子顕微鏡 JAMP-10 を開発した際に使用されていた試作機のチャンバーです。現在は真空容器だけですが、これから徐々に拡張増強して行く予定です。