残留ガス分析計とは？

ガス分析の方法には色々ありますが、一般的な物は、ガスに１５０eV 程度の電子を照射することにより、 イオン化し、そのイオンの質量をはかり、ガス種を知ります。また、質量毎のイオン電流を計ることにより、 雰囲気中にどのくらいの割合で、それらのガスが存在するのかを知ることができます。

イオンの質量を計る方法として、磁場を用いる方法、交流電場を用いる方法、 イオンの飛行時間を 計る方法等があります。