スパッタリングとは？
加速したイオンを物質表面に入射すると物質内部でちょうど球撞き衝突の様に
原子同士の衝突が連続的に生じます(衝突カスケード)。
これにより入射イオンの持っていた運動エネルギーが各原子に分配される
わけですが、たまたま表面にある原子が表面結合をふりほどくに充分な
エネルギーを得た場合、この原子は表面から真空中へ放出されます。
この現象をスパッタリングといいます。
なお、スパッタリングを利用して表面から原子を剥ぎ取って行くことを
スパッタエッチング、またスパッタされた
原子を他の物質表面に堆積させることをスパッタ蒸着
といいます。後者は薄膜作成に利用されています。
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