('98年度) 崎村 幸一 とは?

私の声 "sakimura.au"(25k)

電離真空計の測定球を利用した熱フィラメントCVD法による ダイヤモンド薄膜作成実験を行いました。メタノール雰囲気 中でタングステンフィラメントを加熱し、メタノールを解離して シリコン基盤上に炭素薄膜を堆積させます。実験装置(左図) とできあがった膜の電子顕微鏡写真(右図)です。白線の長さが 100ミクロン(0.1ミリメートル)に相当します。ダイヤモンドに なっているかどうかは判定できませんでしたが、電子ビームによって かなり帯電しており、絶縁性の高い薄膜(おそらくSiCかダイヤモンド) が生成されていることがわかりました。これだけになるのに24時間かかる。

メタノールの扱いには注意しましょう。(実験室の簡易ドラフターの前にて。)

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