電離真空計の測定球を利用した熱フィラメントCVD法による ダイヤモンド薄膜作成実験を行いました。メタノール雰囲気 中でタングステンフィラメントを加熱し、メタノールを解離して シリコン基盤上に炭素薄膜を堆積させます。実験装置(左図) とできあがった膜の電子顕微鏡写真(右図)です。白線の長さが 100ミクロン(0.1ミリメートル)に相当します。ダイヤモンドに なっているかどうかは判定できませんでしたが、電子ビームによって かなり帯電しており、絶縁性の高い薄膜(おそらくSiCかダイヤモンド) が生成されていることがわかりました。これだけになるのに24時間かかる。
メタノールの扱いには注意しましょう。(実験室の簡易ドラフターの前にて。) ![]()
出身地:兵庫県伊丹市
専門分野:表面物性工学
趣味:音楽観賞(テクノ,ハウス)クラブに行って踊るのが好き、読書(変なミステリー)
家族構成:父、母、妹、私の4人構成である。