使用した真空蒸着装置と私（左図）。特性評価のため真空装置内にセットした ガスセンサー（右図）。

これを真空蒸着装置にセットし、背面よりヒータで数１００°Ｃに加熱しながら 真空排気、空気導入を繰り返し、センサーの抵抗値の変化を測定しました。

真空度と抵抗値の関係

このグラフより、真空度があがる（圧力が下がる）と抵抗が大きくなり、 真空度が下がる（圧力が上る）と抵抗が小さくなることがわかります。 ヒステリシス的な挙動を示しているのは、ガスの吸着、脱離反応の速度（特に脱離過程）に比べて 真空度の変化速度が早かったためと思われます。これを改善するためには センサー温度をもっと高温に保つ必要があると思われます。ちなみに 実際に利用されているセンサーでは４００°Ｃくらいで使用されているとのことです。

生年月日：昭和４９年(１９７４年)８月２日

出身地：奈良県

専門分野：表面物性工学

趣味：パチンコ、硬式野球、水泳

家族構成：父、母、弟３人、祖父、祖母