走査型オージェ電子顕微鏡

JAMPー１０とは？

本装置は、１９９６年１０月に松下電工(株)評価技術研究所(材料分析グループ) より寄贈していただいたものです。最大倍率２万倍の走査型電子顕微鏡と

オージェ電子分光装置を組み合わせた仕様となっており、超高真空中(～５x１０^-10Torr) での材料表面上の微小領域(～５０ nm)における元素組成を単原子層の百分の一の感度で分析する事ができます。
(～１９８０年、日本電子(株)社製。)