感圧ダイオードとは？


（'９８年度 照本浩貴）

半導体結晶に圧力を加えると電気抵抗が変化する現象があり、これをピエゾ抵抗効果という。 ピエゾ抵抗効果には、圧力によって禁制帯の幅が変化し、それに伴ってキャリヤ濃度が 変化することに基づく等方的なものと、結晶の等エネルギー面が複雑な形状をもっていて 伝導電子の移動度に方向性があり、かつ適当な方向に圧力を加えると電子の分布が変化する ことに基づく異方的なものとがある。大きいピエゾ抵抗効果を示す主な半導体としては Ｓｉ、Ｇｅなどがある。ピエゾ抵抗効果は圧力計、ひずみ計、音−電気変換素子などに 利用されている。ＰＮ接合や金属−半導体接触（ショットキー）ダイオード の障壁部に集中圧力を加えると順・逆両方向ともに電流が増大する。このようなダイオードを 感圧ダイオードという。


SST_Labo's Home Page