Ｘ線センサーとは？
（'９９年度 大江 隆之）
ここではショットキーバリヤダイオードを用いたＸ線検出について説明する。
逆バイアスをかけたショットキーバリヤダイオードにＸ線を照射すると、界面の空乏層において
Ｘ線により電子−正孔対が生成され（価電子帯の電子がＸ線のエネルギーを受け取って励起され
伝導帯へあがる）、逆バイアスによって作られる内部電界によって電子は半導体側へ、
また正孔は金属側へ流れるために電流が流れる。
禁止帯の幅、すなわちバンドギャップエネルギーをＥｇ、Ｘ線の振動数をｆとすると、
Ｘ線のエネルギーは ｈｆ（ｈはプランク定数）であるから、このＸ線の光子が一個
入射すると、ｈｆ／Ｅｇ 個 の電子ー正孔対を生成する。Ｘ線光子が入射するたびに
パルス的に電流が流れるのだが、その電流値Ｉは電子−正孔対の数、すなわちｈｆ／Ｅｇに比例するため、
電流パルスの高さからＸ線のエネルギーを知ることができる。
また、Ｘ線の強度は、単位時間内に飛来する光子の数のことであるから、
単位時間内のパルス数（カウント数）を数えればＸ線の強度を知ることができる。
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