実用表面分析講演会 PSA−00

The 4th Meeting on Practical Surface Analysis
2000年12月7〜8日、東京。


「全波整流電源を用いたGDSの試作」
平田裕記下藤潤平(左)、 杉本芳伸(右)、的場慎治、井上雅彦

昨年の続報。AESやXPSを用いて絶縁性材料を分析する際の試料帯電効果を 定量的に評価するために、帯電効果を受けない手法による分析データとの 比較が有力である。本研究では絶縁性材料の深さ方向分析の場合に特定し、 グロー放電発光分光分析法(GDS)によりこの比較用データを測定することを 目的として、試料表面電荷の充放電サイクルを制御できる全波整流電源を試作し、 基礎的な特性評価実験を行った。またPC−UNIX上で動作するリアルタイム 測定プログラムを開発したので併せて報告する。

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