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表面分析のための データベース（SU-Database）

摂南大学

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• 電子の非弾性散乱平均自由行程
  ( by 大川克海 2020, 森本圭一 2002, 新智司 2001 )
  S.Tanuma, C.J.Powell and D.R.Penn,
  TPP-2 : Surface and Interface Analysis, 21 (1993) 165-176.
  TPP-2M : Surface and Interface Analysis, 17 (1991) 911-926.
  
• オージェ定量分析のための背面散乱補正係数
  ( by 豊岡治伎 2020, 足立智大 2007, 伊藤健大 2001 )
  S.Tanuma, J. Surf. Anal. 14 (2007) 9.
• クラスターイオンによる非線形スパッタリング収率
  ( by 尼丁健太朗 2020, 大杉祐文 2008)
  P.Sigmund & C.Claussen, J. Appl. Phys, 52(1981)204-213.
  Y.Yamamura & H.Tawara, Atomic Data & Nuclear Data Tables, 62(1996)149-253.
  Y.Yamamura, Y.Itikawa, & N.Itoh, IPPJ-AM-26 (1983).
• 単元素固体のスパッタリング収率（エネルギー，入射角依存性）
  ( by 井上雅彦 2021, 小阪宗嗣 2006 )
  Y.Yamamura & H.Tawara, Atomic Data & Nuclear Data Tables, 62(1996)149-253.
  Y.Yamamura, Y.Itikawa, & N.Itoh, IPPJ-AM-26 (1983).
• 単元素固体のスパッタリング収率（エネルギー依存性）
  ( by 阿部雄大 2020, 脇村潤也 2005, 井上雅彦 1997 )
  N.Matsunami et. al., Atomic Data & Nuclear Data Tables 31(1984)1-80.
  Y.Yamamura & H.Tawara, Atomic Data & Nuclear Data Tables 62(1996)149-253.
• 高速イオンの電子的阻止能断面積
  ( by 上島圭一郎 2020，新谷昌弘 1997 )
  H.H.Andersen and J.F.Ziegler
  "Hydrogen Stopping Powers and Ranges in All Elements vol.3" (1977).
• 微分散乱断面積（ZBLポテンシャル）
  （by 井上雅彦 2021，須田一史 1998）
  H.J.Kang, E.Kawatoh, and R.Shimizu Jpn. J. Appl. Phys. 23(1984)L262.